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无尘洁净室工程为何要控制好温湿度

无尘洁净室工程为何要控制好温湿度

发布时间:2023-12-06 08:35:44    浏览量:65

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无尘车间为什么要控制温度和湿度?主要的作用是什么,有什么措施?青岛净化工程有限公司**净化工程装修,为您解答一下!

无尘车间的温湿度主要根据您的加工工艺要求来确定。在加工工艺条件下,要考虑人的舒适性。随着空气清洁度要求的提高,对工艺的温湿度要求越来越高,应该达到一定的温湿度水平。例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中,用作掩模材料的玻璃与硅片的热膨胀系数差越来越小。对于直径为100um的硅晶圆,温度升高1度,线性膨胀为0.24um。因此,它应该有一个恒定的温度±0.1度。同时要求湿度值一般较低。半导体车间怕钠,这样的车间不应超过25度。湿度过大会造成更多问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会凝结。如果发生在*密设备或电路中,会引起各种各样的事故。在50%的相对湿度下容易生锈。

,对于大多数洁净空间,为了防止外部污染的侵入,需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。压差的维持一般应遵循以下原则:

1.高清洁度空间的压力要高于邻近低清洁度空间的压力。

2.洁净室之间的门应向高度洁净的房间敞开。

3.清洁空间的压强比非清洁空间的压强大。

压差的维持取决于新风量,新风量应能补偿在此压差下从间隙漏出的空气。因此,压力差的物理意义是当泄漏(或渗透)的空气量通过洁净室的各种间隙时的阻力。

对于乱流风淋室,由于空气的稀释主要用来降低室内污染程度,所以空气交换频率的概念主要用来代替速度的概念,但对于室内空气流速也需要满足以下要求

1.出口气流速度不宜过大。与简单的空调房间相比,需要更快的速度衰减和更大的扩散角。

2.水平面上吹过的气流速度(如侧进时的回流速度)不宜过大,以免吹起的表面颗粒回流到气流中,造成二次污染。这个速度一般不适合0.2m/s的干度。

在我国,《空气清洁技术措施》和《清洁厂房设计规范》都是这样规定的

垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s

水平平行流(层流)洁净室≥0.35m/s

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